由浙江大学信息与电子工程学院团队领衔研制,负责人骆季奎教授是博士生导师、国家级领军人才。国际上MEMS的活跃人物之一,在国际上有重要的影响力。原创地提出和开发了基于表面声波的微流体器件:微泵、微混合器、传感器等,可实现从几百微升到皮升数量级液体操作,并基于此进一步实现了集成传感器和微流控制器的Lab-on-a-chip系统,在诊断和监控领域有着巨大应用前景。在卡文迪许实验室主持发明并发展了世界上最小的纳米悬臂梁结构的非易失性存储器,为存储器领域开拓了崭新的空间;发明并发展了基于悬臂梁结构的数字可变电容,对于实现全数字化的无线通讯系统有巨大的推动作用,被MIT的S.M.Spearing教授和剑桥大学工程系W.I.Milne教授誉为“RFMEMS创新性发明”。在国际高影响因子期刊上共计发表论文282篇,在国际会议上发表论文210篇,其中特邀报告/keynotesspeaker 35次。H-index46,引用7647次。作为共主席主持领域顶级会议SMAC、MME、IDW、NanoSmat、NanoMan、IWanDLC、IEEE NEMS、ThinFilms等。