薄膜热导率和热电势的测量在基于薄膜技术的微机电系统(MEMS)和热电器件的研发、电子和光电子器件的热管理设计中都发挥着重要的作用。例如,微型薄膜热电器件前几年已经在国外成功实现了商业化,它在利用低品质热源和局部制冷方面有着突出的优势,国内研发单位在这个领域也投入了很大力量,对薄膜热电性能(包括热电势,热导率和电导率等)表征设备的需求十分迫切,但目前相关设备的市场基本上被国外仪器设备制造商所垄断,并且国外产品的性能并不能完全满足用户的需求, 例如市场上就特别缺乏能够对薄膜热导率进行变温测试的设备。有鉴于此,我们计划将一套综合性的、针对薄膜材料的热导率/热电势/电导率测量仪投入商业化,为相关领域的研发活动提供测量工具。本项目对场地等条件要求不高,易于实施。