新型碳纳米管气体传感器技术

成果编号：28780

价格：面议

完成单位：盐城工学院

单位类别：其他高校

完成时间：2019年

成熟程度：研制阶段

服务产业领域：电子信息、装备制造、新材料

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发布人：GRF 离线

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气体传感器用于监测气体的成分和动态特征等，并将气体的成分和动态特征等信息转化为电信号。目前，气体传感器的研发方向是高稳定性、高灵敏度、高检测精度、低功耗、小型化等。气体传感器一般包括基体、绝缘层和微电极阵列。没有接触待监测气体时，气体传感器的电场强度小于空气的击穿强度，当待监测气体中的带电粒子通过气流运动和扩散运动等方式到达微电极阵列响应范围内，带正电荷和负电荷的粒子分别被阴电极和阳电极邻近区域的电场捕获，并向电极漂移，形成电流信号输出。本项目技术采用碳纳米管生长技术制造的气体传感器，该传感器包括绝缘基体、绝缘层、阴阳微电极阵列、阴阳电极焊接区和碳纳米管；绝缘层设置在绝缘基体上，阴阳微电极阵列和阴阳电极焊接区设置在绝缘层上，阴阳微电极阵列分别与阴阳电极焊接区导电连接；碳纳米管垂直排列在阴阳微电极阵列上，碳纳米管之间由空气间隔并相互隔离。

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成果介绍

科技计划：省部级：危险化合物快速检测防控设备

成果形式：新技术、新工艺、新产品

合作方式：技术转让、技术开发、技术咨询、技术服务、技术入股

参与活动： 2021年高校院所服务苏北五市产学研合作对接活动首届江苏产学研合作对接大会

专利情况：正在申请 ,其中:发明专利 0 项
已授权专利,其中:发明专利 1 项

成果简介

成果概况

创新要点

基于碳纳米管生长技术的气体传感器直接在掺杂多晶硅上生长碳纳米管，减小了阴阳电极之间的距离，降低了功耗；利用化学蒸汽沉积技术生长碳纳米管，同时利用微纳加工技术控制碳纳米管生长的指向，可以很好的控制微电极阵列的间距和形状，使其有规律的排列，提高气体传感器的精度。通过优化设计，可以得到低功耗的气体传感器。

主要技术指标

该传感器具有选择性高、灵敏度高、精度高、功耗低及体积小等优点，可以集成到物联网应用和移动终端。主要技术指标：工作电压10V，功耗10mV、非接触、灵敏度高；

其他说明

完成人信息

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