基于碳纳米管生长技术的气体传感器及制造方法

成果编号：21585

价格：面议

完成单位：盐城工学院

单位类别：其他高校

完成时间：2019年

成熟程度：研制阶段

服务产业领域：电子信息、新材料

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发布人：GRF 离线

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气体传感器用于监测气体的成分和动态特征等，并将气体的成分和动态特征等信息转化为电信号。气体传感器一般包括基体、绝缘层和微电极阵列。没有接触待监测气体时，气体传感器的电场强度小于空气的击穿强度，当待监测气体中的带电粒子通过气流运动和扩散运动等方式到达微电极阵列响应范围内，带正电荷和负电荷的粒子分别被阴电极和阳电极邻近区域的电场捕获，并向电极漂移，形成电流信号输出。

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成果介绍

科技计划：国家级：国家863项目

成果形式：新技术、新材料、其他

合作方式：技术转让、技术开发、技术入股

参与活动：驻苏高校院所苏北五市产学研合作对接活动第七届中国江苏产学研合作大会

专利情况：正在申请 ,其中:发明专利 0 项
已授权专利,其中:发明专利 1 项

成果简介

成果概况

创新要点

该基于碳纳米管生长技术的气体传感器直接在掺杂多晶硅上生长碳纳米管，减小了阴阳电极之间的距离，降低了功耗；利用化学蒸汽沉积技术生长碳纳米管，同时利用微纳加工技术控制碳纳米管生长的指向，可以很好的控制微电极阵列的间距和形状，使其有规律的排列，提高气体传感器的精度。

主要技术指标

工作电压10V；功耗10mW；灵敏度1-2mA。

其他说明

完成人信息

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