科技计划:
成果形式:新技术、新工艺、新产品、新装备
合作方式:技术开发
参与活动:
驻苏高校院所苏北五市产学研合作对接活动
第七届中国江苏产学研合作大会
专利情况:
正在申请 ,其中:发明专利 0 项
已授权专利,其中:发明专利 0 项
成果简介
成果概况
臭氧超高的氧化能力决定了其在众多的应用领域有广泛的应用前景。高浓度臭氧发生器是产生高浓度臭氧水的重要保证,所产生的高浓度臭氧水也是当前环保压力下重要的高端替代清洗方法,可以广泛应用于平板显示、半导体清洗、光伏电池表面清洗等高端应用领域。装置的核心是将空气或氧气在新型低温等离子体中产生高浓度臭氧,这些高浓度臭氧在先进的混合器中产生高浓度臭氧水,高浓度臭氧水可以代替目前对环境有污染的诸多清洗方法。
创新要点
1. 先进的轴向臭氧等离子体等离子体发生器;
2. 先进的臭氧混气装置。
主要技术指标
1. 臭氧的浓度高于180ppm;
2. 臭氧水浓度高于20ppm.
其他说明
完成人信息
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