一种制备薄膜电极的辅助装置

成果编号：12947

价格：面议

完成单位：河南大学

单位类别：其他高校

完成时间：2015年

成熟程度：试生产阶段

服务产业领域：装备制造

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发布人：张伟风离线

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1. 简单背景目前，公知的薄膜电极制备方法是将掩膜板直接放置在衬底上，然后通过薄膜制备工艺得到实验所需要的薄膜电极。这种方法虽然简洁易行，但是由于掩膜板与衬底的接触并不紧密，在薄膜电极的生长过程中会出现电极点粘连，薄膜电极厚度不均匀的情况，这样的结果将严重的影响薄膜器件性能的稳定性。 2. 关键技术名称、概念解释底盘：具有用于支撑上下叠加设置的掩膜板和衬底的支撑端面，底盘上还设置有用于对掩膜板施加朝向衬底压紧力的压紧机构。压紧机构：包括用于压装在掩膜板上的压片夹以及向下穿过压片夹后螺纹旋入底盘内的将压片夹与底盘固连的控位螺钉。 3. 技术原理简介制备薄膜电极的掩膜板和衬底上下叠放放置在底盘上，压紧机构具有压装在掩膜板上的压片夹以及螺纹旋入底盘内的将压片夹与底盘固连的控位螺钉，通过旋拧控位螺钉就能使压片夹压紧掩膜板，进而控制掩膜板与衬底的压紧程度，使掩膜板与衬底充分紧密接触。

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成果介绍

科技计划：

成果形式：新技术

合作方式：技术转让、技术开发、技术入股

参与活动：

专利情况：正在申请 ,其中:发明专利 0 项
已授权专利,其中:发明专利 1 项
专利号:
ZL 201210155586.X

成果简介

成果概况

创新要点

本技术装置不但适用于普通电阻热蒸发、电子束蒸发等镀膜设备，还适用于分子束外延、溅射、沉积、熔蒸等薄膜电极制备工艺中。与现有的掩膜板法制备薄膜电极相比，本技术具有制膜均匀、边沿清晰、无粘连点等特点优点，可大大提高器件性能的稳定性。

主要技术指标

本装置技术目前在我实验室光电薄膜器件研究中获得普遍应用。技术成熟，制备薄膜电极效果良好，对稳定光电器件的性能具有重要作用。该装置具有良好的市场前景，对各类金属、非金属材料的图案化制膜均有应用潜力。

其他说明

关键技术路线该辅助装置的底盘为具有一定厚度的圆形结构，制备薄膜电极用的掩膜板和衬底上下叠加放置在底盘上端面，在底盘上安装压紧机构。压片夹上分别开设有供各自对应的控位螺钉穿过的导向孔，底盘上端面上开设有供控位螺钉旋入的控位螺孔，通过旋拧位螺钉，调节压片夹对掩膜板的压紧力，最终可以调节掩膜板与衬底的压紧程度。

完成人信息

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