气象传感器设计理论、关键技术及其应用

成果编号：11500

价格：面议

完成单位：省产研院专用集成电路技术研究所

单位类别：其他院所

完成时间：2013年

成熟程度：小批量生产阶段

服务产业领域：电子信息

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发布人：黄庆安离线

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面向国家重大需求，在国家自然科学基金和国家863计划等持续支持下，系统地开展了气象传感器设计、制造与可靠性等关键技术研究

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成果介绍

科技计划：

成果形式：新技术

合作方式：技术开发、技术服务

参与活动：

专利情况：未申请专利

成果简介

成果概况

面向国家重大需求，在国家自然科学基金和国家863计划等持续支持下，系统地开展了气象传感器设计、制造与可靠性等关键技术研究

创新要点

（1）在国际上首次提出了基于介电伸缩效应的传感器结构，保证了气压传感器输出线性度；（2）发明了带微孔滤膜的传感器封装方法，提高了环境适应性；（3）发明了介电伸缩系数测试方法，为传感器设计提供了依据；（4）发明了风速传感器深槽隔热结构，提出风速传感器温度自平衡测控方法；（5）发明了湿度传感器片上集成加热器结构，缩短传感器响应时间；（6）发明了氮化硅隔离结构，突破了传感器稳定性技术瓶颈；（7）建立了MEMS器件-封装结构温度效应模型，发明了悬臂梁疲劳特性测量结构，有效支撑了MEMS气压、风速风向、湿度传感器的可靠性设计；（8）开发了前向散射式能见度检测器系统，发明了大气散射信号测量技术。

主要技术指标

（1）风速传感器温度自平衡测控方法，量程为60m/s；（2）悬臂梁疲劳特性的测量方法；（3）前向散射式能见度仪的大气散射信号测量方法。

其他说明

完成人信息

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所在部门：对接成功后可查看

职务：对接成功后可查看

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