科技计划:
成果形式:新材料
合作方式:技术转让、技术开发、技术入股
参与活动:
专利情况:
正在申请 ,其中:发明专利 4 项
已授权专利,其中:发明专利 1 项
专利号:
CN102208756A
成果简介
成果概况
本成果针对医疗诊断、环境监测、激光加工等领域对2微米波段激光的广泛需求,基于已成熟应用于LED芯片行业和光通信激光器芯片行业的金属有机物化学气相沉积系统,生产发光波长位于2微米波段的半导体量子阱激光芯片,并在此基础上制作可应用于幽门螺旋杆菌检测的2.004微米激光器、可应用于天然气残留水检测的1.877微米激光器、可应用于工业生产一氧化碳检测的2.326微米激光器以及可应用于激光手术和激光加工的大功率2微米波段激光模块。
创新要点
我们打通了从2微米波段半导体激光芯片外延到工艺封装的整个技术流程,掌握了核心芯片外延技术。
主要技术指标
芯片尺寸:2-3英寸;芯片波长均匀性:+/-3nm ;芯片材料应变:+/-300 ppm ;芯片厚度均匀性+/-10% ;激光器阈值电流密度(L=2mm) :275 A/cm2;内损耗:5cm-1;
最大连续输出功率:>200mW 。
其他说明
根据Strategies Unlimited公司数据显示,2014年全球激光销售收入达93.3亿美元,其中半导体激光器占48%。随着科技的进步,半导体激光器的发展促进了许多新兴市场的涌现,同时市场也对半导体激光器的波段和性能有了新的需求。其中,发光波长位于2微米波段的高性能半导体激光源因可被用于气体检测、激光测距、激光雷达、塑料熔覆、激光医疗等领域而成为目前激光市场的新热点。
该成果情况2014年在中科院半导体所网站发布后,中国激光网等知名网站第一时间进行了转载报道,其后不少国内同行来信询问产品情况,爱尔兰相关研究小组来信交流探讨,新加坡南洋理工大学来信洽谈芯片采购事宜。目前技术的研发已经结束,开始寻求产业转化和规模量产。我们已申请专利4项,获授权1项。
本成果核心研发人员共四名,包括一名具有长期海外留学工作经历的博士生导师以及三名青年科技工作者,均拥有工科博士学位以及多年化合物半导体芯片和器件研发经验。
完成人信息
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