氮化物光学微机电系统

成果介绍

科技计划：

成果形式：新技术、新工艺、新产品

合作方式：技术转让、技术开发、技术咨询、技术服务、技术入股

参与活动：

专利情况：正在申请 ,其中:发明专利 15 项
已授权专利,其中:发明专利 2 项
专利号:
ZL201210570246.3,CN103185918B

成果简介

成果概况

面向可见光无线通信及传感的氮化物光学微机电系统

创新要点

氮化物光学微机电系统光学微机电器件以微电子、光电子和微机电技术为基础，采用新的设计、制造方法，将微型传感器、微型结构、微型执行器用微组装工艺集成的光机电一体化系统。课题利用硅基氮化物材料的优异性能，开发氮化物微纳驱动器，结合其他功能器件，实现光学器件和微机电驱动器的集成，率先获得了氮化物光学微机电微镜和周期可调的氮化物光栅。集成氮化物微纳驱动器和LED光源、谐振光子器件，可以实现小型化的氮化物光学微机电系统。

主要技术指标

氮化物微镜厚度1微米，直径200微米

其他说明

完成人信息

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