薄膜热导率/热电势/电导率测量仪

成果编号：10896

价格：面议

完成单位：中国科学院国家纳米科学中心

单位类别：中国科学院系统院所

完成时间：2015年

成熟程度：研制阶段

服务产业领域：装备制造、能源环保

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发布人：王汉夫离线

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薄膜热导率和热电势的测量在基于薄膜技术的微机电系统(MEMS)和热电器件的研发、电子和光电子器件的热管理设计中都发挥着重要的作用。例如，微型薄膜热电器件前几年已经在国外成功实现了商业化，它在利用低品质热源和局部制冷方面有着突出的优势，国内研发单位在这个领域也投入了很大力量，对薄膜热电性能（包括热电势，热导率和电导率等）表征设备的需求十分迫切，但目前相关设备的市场基本上被国外仪器设备制造商所垄断，并且国外产品的性能并不能完全满足用户的需求, 例如市场上就特别缺乏能够对薄膜热导率进行变温测试的设备。有鉴于此，我们计划将一套综合性的、针对薄膜材料的热导率/热电势/电导率测量仪投入商业化，为相关领域的研发活动提供测量工具。本项目对场地等条件要求不高，易于实施。

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成果介绍

科技计划：

成果形式：新装备

合作方式：技术转让、技术入股

参与活动：

专利情况：正在申请 ,其中:发明专利 3 项
已授权专利,其中:发明专利 1 项
专利号:
ZL201220366801.6

成果简介

成果概况

创新要点

本设备的特点是将薄膜热导率、热电势和电导率等多种测量功能集成到一台设备上，可以完成100K-600K温度区间的变温测量其中，热导率测量采用三倍频(3ω)方法,热电势测量采用准稳态方法; 每种测量功能由一个相对独立的测量模块承担，每个测量模块由必要的硬件、测量仪表和计算机控制软件组成; 各模块测量电路、样品座等的设计采用了多项新技术, 部分技术已经申请专利; 本设备经过长期改进, 测量数据准确可靠, 操纵方便快捷, 具备较高的性价比, 用户先前需要使用多台设备才能开展的测试，目前可以在一台设备上完成，可大大节省设备投资。

主要技术指标

热电势：温度范围：100 K-600K；准确度：± 10% 电导率：温度范围：100K-600K；准确度：± 5% 薄膜热导率（3ω法）：温度范围：100K-600K；准确度：± 10%；膜厚：20至5000 nm

其他说明

完成人信息

姓名：对接成功后可查看

所在部门：对接成功后可查看

职务：对接成功后可查看

职称：对接成功后可查看

手机：对接成功后可查看

E-mail：对接成功后可查看

电话：对接成功后可查看

传真：对接成功后可查看

邮编：对接成功后可查看

通讯地址：对接成功后可查看

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