氮化镓材料外延技术及新一代显示

成果编号：12507

价格：面议

完成单位：省产研院纳米技术与纳米仿生研究所

单位类别：中国科学院系统院所

完成时间：2014年

成熟程度：小批量生产阶段

服务产业领域：电子信息、装备制造、新材料

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发布人：杨辉离线

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激光显示技术是继黑白显示、彩色显示、数字显示之后的第四代显示技术，它具备大色域、高分辨、低功效、长寿命等优良特性，已经广泛获得了学术界和产业界的一致认可。世界各国都投入巨资进行研究和产业化开发，下一代新型显示技术已经从技术萌芽阶段过渡到产业增长阶段。据美国权威专业媒体laser focus world预测，2014年前后，激光显示将在全球形成年产值570亿美元的产业规模，2015年以后将达到1000亿美元。

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成果介绍

科技计划：

成果形式：新技术、新工艺、新材料、新装备、新品种

合作方式：技术转让、技术开发、技术咨询、技术服务、技术入股、人才培养、共建载体

参与活动：

专利情况：未申请专利

成果简介

成果概况

创新要点

为适应激光显示技术对于低成本、小型化的要求，全产业链需要突破以下三大关键技术：（1）氮化镓衬底材料；（2）蓝绿光激光器；（3）系统应用集成。依靠来自于中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所的创新创业团队，通过自主研发，在上游（GaN衬底）、中游（半导体激光器研制）、下游（微投影显示系统集成）上已经具备了较好的技术基础。其中GaN衬底材料已经实现小规模生产，蓝光激光器实现小批量供货，绿光激光器获得重大技术突破，相关产品的性能指标达到国际先进水平。与上海三鑫、苏州全谱等下游企业联合攻关，在系统应用集成上取得系列进展，已经形成激光微型投影显示产品的初步销售。

主要技术指标

本团队以氮化镓衬底晶片的研发和产业化作为重要的突破点，以此为基础，展开蓝光和绿光激光器的相关研究和产业化开发。目前在氮化镓衬底和蓝绿光半导体激光器的开发上已经取得了突破性进展，其中2英寸GaN衬底已经实现了规模生产，缺陷密度可降低到104cm-2，电阻率可在10-3Ohm？cm到108Ohm？cm之间调控。蓝光激光器达到了实用化要求，阈值电流密为2.5~3 kA/cm2，阈值电压5~5.5V，寿命突破1000小时。

其他说明

完成人信息

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