化学气相沉积（CVD）金刚石膜技术

成果编号：02423

价格：面议

完成单位：吉林大学

单位类别：985系统院所、211系统院所

完成时间：2012年

成熟程度：批量生产阶段

服务产业领域：新材料

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发布人：何志离线

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该项目研发了化学气相沉积（CVD）金刚石膜技术，获发明专利1项。

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成果介绍

科技计划：

成果形式：新材料

合作方式：其他

参与活动：

专利情况：未申请专利

成果简介

成果概况

该项目研发了化学气相沉积（CVD）金刚石膜技术，获发明专利1项。

创新要点

CVD金刚石单晶的生长技术：高速生长大尺寸CVD金刚石单晶技术。

主要技术指标

深入系统地研究CVD金刚石高速外延生长的过程和工艺，掌握先进的金刚石单晶抛光技术，使抛光速率提高了数倍，平整度也有很大的提高，缩短了单晶的生长周期，为更快地实现高品质10克拉以上金刚石大单晶打下了较好基础。

其他说明

完成人信息

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所在部门：对接成功后可查看

职务：对接成功后可查看

职称：对接成功后可查看

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