溶胶-凝胶法制备压电薄膜

成果编号：06899

价格：面议

完成单位：南京航空航天大学

单位类别：211系统院所

完成时间：2012年

成熟程度：研制阶段

服务产业领域：电子信息

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发布人：朱孔军离线

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采用溶胶-凝胶法制备压电薄膜（包括PZT和KNN），可以减少薄膜的宏观缺陷和裂纹，减少薄膜电极间的漏电流值，提高其压电特性，同时可促进PZT压电陶瓷薄膜在纳米制造、MEMS、超精密加工等领域的应用。

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成果介绍

科技计划：

成果形式：新技术、新工艺、新材料

合作方式：技术转让、技术开发、技术咨询、技术服务、技术入股

参与活动：

专利情况：正在申请 ,其中:发明专利 2 项
已授权专利,其中:发明专利 0 项
专利号:
201010563487.6,201110069091.0

成果简介

成果概况

创新要点

溶胶凝胶法制备工艺简单，设备成本和原料成本均相对低廉，所得压电薄膜在微观结构和压电性能方面均具有一定的优势。

主要技术指标

溶胶凝胶形成的pH范围为3.0-5.0，预处理温度为150-350C，水热处理温度为200-300C。

其他说明

完成人信息

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