压电驱动微定位偏转台

成果编号：11756

价格：面议

完成单位：西安交通大学

单位类别：985系统院所、211系统院所

完成时间：2013年

成熟程度：小批量生产阶段

服务产业领域：装备制造

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发布人：徐明龙离线

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本项目研制的压电驱动微定位偏转台利用压电陶瓷的逆压电效应将电能转化为机械能，采用柔性铰链作为运动副，驱动柔性机构实现高精度传动，实现工作平台的准确定位。压电驱动微定位偏转台具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、无间隙、定位分辨率高的优点，在微机电系统、光学调整、超精密加工、微外科手术、生物细胞操作、纳米技术等领域存在广泛应用前景。本项目针对不同的需求研发了多种压电驱动微定位偏转台。

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成果介绍

科技计划：

成果形式：新技术、新装备

合作方式：技术转让、技术开发

参与活动：

专利情况：未申请专利

成果简介

成果概况

创新要点

本项目针对不同需求所设计的系列压电驱动微定位工作台具有完全的知识产权。目前已在西安交通大学、中国空间技术研究院西安分院等科研院所得到应用。

主要技术指标

通过采用柔性大位移驱动机构，及差分驱动方式等创新设计使设备性能不但可达到国外知名设备厂商（如德国PI、法国CEDRAT等）同类设备水平，而且在某些指标上具有一定优势。

其他说明

压电驱动微定位偏转台在微纳米技术领域应用广泛，通常是所应用系统中的关键部件。但是高性能的微定位偏转台目前只有少数几个国外仪器厂商可以提供，技术垄断导致该类设备价格高昂。目前国内对具有自主知识产权的压电驱动微定位偏转台有迫切的市场需求。将该项目的科技成果市场化应用将会带来较大的经济效益。

完成人信息

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