LSW1Xb低功耗硅基微热板

成果编号：20627

价格：面议

完成单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

单位类别：中国科学院系统院所

完成时间：2017年

成熟程度：试生产阶段

服务产业领域：电子信息

我要对接关注发送消息

发布人：张珽离线

发送消息

LSW1Xb是一款低能耗的硅基微热板，可用于微型气体传感器或其他加热型器件的研发。 LSW1Xb包含有两组焊点，一组为加热丝的引出，一组为插齿状测试电极。LSW1Xb可耐受约700℃的热处理，在经受热处理之后仍可引线绑定，但加热丝的阻值会有所上升，金属的表面光泽度会有所降低。

524 次浏览分享到

成果介绍

科技计划：

成果形式：

合作方式：技术开发

参与活动：驻苏高校院所苏北五市产学研合作对接活动

专利情况：未申请专利

成果简介

成果概况

创新要点

主要技术指标

我们的微热板采用MEMS工艺制作，为金属氧化物半导体气体传感器提供了一个可靠的平台，能耗低、加热响应快。微热板采用悬膜式结构，包含一层坚韧的二氧化硅膜，里层包覆S型铂作为加热丝为金属氧化物提供合适的工作温度。微热板的使用温度高达400℃，同时可根据铂的电阻温度系数计算核心区的温度，其热响应时间只有数毫秒。

其他说明

完成人信息

姓名：对接成功后可查看

所在部门：对接成功后可查看

职务：对接成功后可查看

职称：对接成功后可查看

手机：对接成功后可查看

E-mail：对接成功后可查看

电话：对接成功后可查看

传真：对接成功后可查看

邮编：对接成功后可查看

通讯地址：对接成功后可查看

联系人信息