微孔加工工艺及设备

成果编号：10969

价格：面议

完成单位：省产研院先进激光技术研究所

单位类别：中国科学院系统院所

完成时间：2015年

成熟程度：批量生产阶段

服务产业领域：电子信息、装备制造、能源环保、生物技术与医药

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发布人：赵全忠离线

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皮秒激光峰值功率高，无热影响等诸多特点，研发团队采用工业级超快激光，设计专用光路和检测系统，配合先进的自动化设备，经过大量的工艺研究，成功在不锈钢、陶瓷、有机薄膜等材料上实现了100微米以下的微孔加工，孔圆度高、无毛刺、无热变形、重复性高，广泛应用于电子、医疗、航空等领域。

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成果介绍

科技计划：

成果形式：新技术、新工艺、新装备

合作方式：技术转让、技术开发、技术服务

参与活动：

专利情况：未申请专利

成果简介

成果概况

创新要点

本成果实现的微米加工效率高、重复性好、易于实现大规模的工业生产。

主要技术指标

孔径精度小于5微米、锥度小于8°、圆度小于5微米。

其他说明

图一：零件针头长度小于3mm、直径0.5mm，要求在针头加工出一系列0.1mm的微孔，南京先进激光技术研究院装备中心为此设计专用光路和检测系统，经过技术工艺开发，成功实现了0.1mm微孔的加工，孔圆度高、无毛刺、无热变形、重复性高，达到客户所有要求，类似孔应用于医疗植入式喷射药剂、节流减压等。图2：掩膜版广泛应用精细加工、光刻等领域，客户需求掩膜版的孔径50微米、孔间距60微米、无热影响。精度要求高，加工难度大。研究院研发团队利用超快激光和独特光路作为实验平台，经过大量的工艺研究，成功为客户制作了符合其技术要求的掩膜版。

完成人信息

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