透明导电薄膜制备技术

成果编号：07285

价格：面议

完成单位：南京航空航天大学

单位类别：211系统院所

完成时间：2011年

成熟程度：小批量生产阶段

服务产业领域：能源环保、新材料

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发布人：沈鸿烈离线

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透明导电薄膜是指那种对可见光的平均透过率高（T ？ 80%）、电阻率低（ρ？10-3 Ωｃｍ）的薄膜，在太阳能电池、平板显示器、薄膜晶体管、气敏元件、抗静电涂层等领域具有广阔的应用前景。本项目采用磁控溅射法和溶胶-凝胶法制备的掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜，对可见光平均透过率大于90％，电阻率低于5？10-4Ωｃｍ，具有广阔的应用前景。已发表科研论文十多篇。

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成果介绍

科技计划：

成果形式：新产品、新材料

合作方式：技术开发、技术咨询、技术服务

参与活动：

专利情况：未申请专利

成果简介

成果概况

创新要点

太阳能电池电极和触摸显示屏等的制备，替代进口产品，降低相关器件的制备成本。

主要技术指标

1.利用磁控溅射技术结合原位加热方法，在玻璃衬底上生长高质量AZO薄膜；2.利用磁控溅射技术通过调节生长气压和射频功率，在室温下柔性衬底上制备高质量AZO薄膜；3.采用对设备要求低、原材料价格低廉的溶胶-凝胶法制备技术；4. 特殊气氛下热处理技术；5. 场诱导结晶技术。

其他说明

完成人信息

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