一种硅基三维微电池纳米电极结构

成果编号：39273

价格：面议

完成单位：厦门大学

单位类别：985系统院所、211系统院所

完成时间：2022年

成熟程度：

服务产业领域：其他

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发布人：李静离线

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硅基材料，作为集成电路( IC) 、微纳电子机械系统 (M/NEMS) 以及气体各类微电子器件制备的主要材料，具有材料来源丰富、价格低廉、加工过程标准化和成熟度高等优点，因而在各类电子器件或者材料结构中应用广泛。本项目涉及的一种瓶状六角形硅及硅基复合三维阵列结构的相关技术，可拓展应用于各种异质材料制备、器件性能提升等方面，在能源、电子信息、食品、生物、医药、环境监测等领域发挥重要作用。

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成果介绍

科技计划：

成果形式：新技术

合作方式：技术服务

参与活动：第二届江苏产学研合作对接大会

专利情况：未申请专利

成果简介

成果概况

创新要点

主要技术指标

其他说明

二、技术成熟度本项目涉及的一种硅基复合三维微纳米阵列结构，采用模板法，结合干法刻蚀和薄膜沉积，可实现快速、稳定制备。所开发的工艺流程和参数稳定，已经实现晶圆级 (5 寸晶圆以上) 的有序制备 (覆盖度达 90%以上) ，工艺技术成熟可靠。三、应用范围一种硅基复合三维微纳米阵列结构，可广泛用于能源、电子信息、食品、生物、医药、环境监测以及农牧业等领域。四、投产条件和预期经济效益主要原料硅基晶圆、PS 或者 SiO2 微球、各类复合物靶材，材料用量小，且国内市场供应充足，工艺加工设备均为常用微纳加工设备设备，投入成本低。生产过程无环境污染，仅使用少量刻蚀气体。对于年产值 1000 万元规模，预计设备投资 250 万元 (不包括厂房、公用工程等) 。

完成人信息

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