一种 ZnO 球形空壳结构纳米颗粒阵列的制备方法

成果编号：39272

价格：面议

完成单位：厦门大学

单位类别：985系统院所、211系统院所

完成时间：2022年

成熟程度：

服务产业领域：其他

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发布人：李静离线

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该项目涉及一种用于提高太阳电池等光电器件光电转换效率的新型介质球形空壳微腔的制备技术及其应用。三维介质微腔结构是一种新型光操控介质微纳米材料，在光电器件光场操控及光电转换效率提升方面具有重要的应用，利用工艺兼容、成本低廉的纳米结构制备技术即可实现器件性能的大幅提升。以太阳能电池应用为例，其原理在于，在器件表面引入介质球形空壳结构的纳米颗粒阵列后，通过引入回音壁模式 (WGM: Whispering Gallery Modes) 光学谐振腔，使太阳光在到达太阳能电池表面之前在此球形壳层谐振腔内共振，增强光的吸收率，从而达到提高太阳能电池的光电转换效率的目的。相比于传统光场操控微结构，该结构和方法可实现宽波段的光谱吸收增强或出光效率增强；通过进一步调控微腔结构及光学参数，还可实现特定波段的光谱增强，如应用在光电探测芯片上等。

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成果介绍

科技计划：

成果形式：新技术

合作方式：技术服务

参与活动：第二届江苏产学研合作对接大会

专利情况：未申请专利

成果简介

成果概况

创新要点

主要技术指标

其他说明

二、技术成熟度该光场操控结构的制备采用纳米微腔模板法，结合薄膜沉积技术以及后续热处理或溶液处理，具备制备技术简便、效率高、成本低的优势，且兼容现有微电子制备工艺。我们以现有实验室条件为基础，该型结构及相关器件可实现>5 英寸晶圆的有效制备，可满足大部分微电子器件的应用，且工艺技术成熟可靠。三、应用范围涉及光电转换器件的太阳能电池、光电探测器、发光 LED 等，可用于上述器件的光谱吸收增强、出光效率提升以及特定光谱的增强等。四、投产条件和预期经济效益主要原料聚苯乙烯模板、介质层沉积靶材等，各种材料用量小，且国内市场供应充足，工艺加工设备均为常用国产设备，投入成本低，生产过程无环境污染。该技术可结合相关光电器件产线，对于年产值 1000 万元规模，预计设备投资 150 万元 (不包括厂房、公用工程等) 。

完成人信息

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