成果介绍
科技计划：
成果形式：新装备
合作方式：技术转让、技术开发
参与活动：
专利情况：
正在申请 ,其中:发明专利 0 项
已授权专利,其中:发明专利 20 项
已授权专利,其中:发明专利 20 项
成果简介
成果概况
该项目研发了一种微纳米定位z-轴快速扫描压电驱动器，拥有20个与压电马达、压电、磁电传感器和相关的中国、美国发明专利。
创新要点
该项目研发了一种微纳米定位z-轴快速扫描压电驱动器，拥有20个与压电马达、压电、磁电传感器和相关的中国、美国发明专利。
主要技术指标
Z-轴微纳米定位快速压电驱动器：分辨率：～10nm；响应时间：10 微米/1μs；驱动力：2N。改进型光学三维扫描系统：光栅靶面规格：6.7 * 5.3毫米；光栅条数：150；光栅间距：45微米；定位精度：10nm；对比度：1000：1。
其他说明
完成人信息
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