1.生产制造中关键设备国产化，提高设备稳定性。如高精密激光器，PVD设备。
紫外皮秒激光器技术指标：
1.波长 355nm
2.平均功率 30W @400KHz
3.最大脉冲能量 75 μJ@400KHz
4.脉冲宽度 10ps
5.频率 0 to 2MHz
6 .M2 < 1.3
7. 脉冲能量稳定性 @1MHz 3[%]rms
8. 光斑直径 3mm
9.长期功率稳定性 （8h±3℃ ） <±3[%]rms
10.无故障运行时间 不少于 15000小时
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技术介绍
| 需求项目简述 |
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1.生产制造中关键设备国产化，提高设备稳定性。如高精密激光器，PVD设备。
紫外皮秒激光器技术指标：
1.波长 355nm
2.平均功率 30W @400KHz
3.最大脉冲能量 75 μJ@400KHz
4.脉冲宽度 10ps
5.频率 0 to 2MHz
6 .M2 < 1.3
7. 脉冲能量稳定性 @1MHz 3[%]rms
8. 光斑直径 3mm
9.长期功率稳定性 （8h±3℃ ） <±3[%]rms
10.无故障运行时间 不少于 15000小时
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企业信息
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负责人信息
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