开展叔丁基膦、叔丁基砷合成技术路线研究；针对MOCVD外延应用，开展叔丁基膦、叔丁基砷纯化技术研究；开展高纯TBP、TBA源材料分析检测及高纯罐装技术研究；开展公斤级安全生产放大技术研究，实现99.995%(4N5)以上叔丁基膦、叔丁基砷关键原材料的国产化替代。
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技术介绍
| 需求项目简述 |
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开展叔丁基膦、叔丁基砷合成技术路线研究；针对MOCVD外延应用，开展叔丁基膦、叔丁基砷纯化技术研究；开展高纯TBP、TBA源材料分析检测及高纯罐装技术研究；开展公斤级安全生产放大技术研究，实现99.995%(4N5)以上叔丁基膦、叔丁基砷关键原材料的国产化替代。
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企业信息
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