探索测量仪器制造技术，着重发展尖端电子光学，精密机械及与计算机像结合的光、机、电一体化的电子光学测量仪器。
利用白光干涉原理，测量样品表面微细形状分布。产品由照明光源系统，光学成像系统，垂直扫描系统以及数据处理系统构成。照明光束经半反半透分光镜分成两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。从这两个表面反射的两束光再次通过分光镜后结合后，在CCD相机感光面形成干涉条纹。沿着光轴移动参考镜，改变两束光的光程差，由CCD相机摄取一系列干涉图，并传送给计算机。根据各点白光干涉条纹包罗线中心位置，解析被测样品的相对高度。
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徐敬
2014-05-05
庆祖林
2017-03-22
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探索测量仪器制造技术，着重发展尖端电子光学，精密机械及与计算机像结合的光、机、电一体化的电子光学测量仪器。
利用白光干涉原理，测量样品表面微细形状分布。产品由照明光源系统，光学成像系统，垂直扫描系统以及数据处理系统构成。照明光束经半反半透分光镜分成两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。从这两个表面反射的两束光再次通过分光镜后结合后，在CCD相机感光面形成干涉条纹。沿着光轴移动参考镜，改变两束光的光程差，由CCD相机摄取一系列干涉图，并传送给计算机。根据各点白光干涉条纹包罗线中心位置，解析被测样品的相对高度。
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企业信息
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