适用于高导电性氧化锆旋转靶材生产工艺的研发

需求所属领域：新材料

需求所处阶段：

需求缘由：

意向合作方式：

意向合作院校：

拟投入资金额： 50万元

参加活动：第二届江苏产学研合作对接大会

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发布人：江苏海泰新材料科技有限公司离线

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技术背景：目前公司主要通过磁控溅射工艺来制备氧化锆靶材，但在磁控溅射过程中，经常可以发现氧化锆靶材表面严重打火、甚至大面积烧蚀形成坑洞，这种现象是电弧放电引起的，而电弧放电尤其会在具有不同导电性的区域发生，这是由于氧化锆靶材中存在不同的金相导致的，氧化锆存在三种金相且易发生相变。需要解决技术问题：初步决定以导电性为切入点，以低的电阻率及高均匀性为目标，来制备一种稳定的导电旋转氧化锆靶材。但是针对以上方案仍存在以下问题：1、材料内部本身纯度（即均匀性）的控制问题；2、生产时杂质以及气孔对导电性的影响问题。技术指标：1.靶材纯度不低于99.9%；2.致密性提升（厚度均匀、质量可靠、晶粒尺寸一致）；3.导电性能比原来的产品提升10%以上。

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需求详情

技术介绍

需求项目简述
技术背景：目前公司主要通过磁控溅射工艺来制备氧化锆靶材，但在磁控溅射过程中，经常可以发现氧化锆靶材表面严重打火、甚至大面积烧蚀形成坑洞，这种现象是电弧放电引起的，而电弧放电尤其会在具有不同导电性的区域发生，这是由于氧化锆靶材中存在不同的金相导致的，氧化锆存在三种金相且易发生相变。需要解决技术问题：初步决定以导电性为切入点，以低的电阻率及高均匀性为目标，来制备一种稳定的导电旋转氧化锆靶材。但是针对以上方案仍存在以下问题：1、材料内部本身纯度（即均匀性）的控制问题；2、生产时杂质以及气孔对导电性的影响问题。技术指标：1.靶材纯度不低于99.9%；2.致密性提升（厚度均匀、质量可靠、晶粒尺寸一致）；3.导电性能比原来的产品提升10%以上。

需求项目简述

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