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半导体抛光研磨液内颗粒度分布均匀性

需求所属领域: 装备制造
需求所处阶段:研制阶段
需求缘由:新产品开发
意向合作方式: 技术开发
意向合作院校:
拟投入资金额: 500万元
参加活动: 第二届江苏产学研合作对接大会
发布人:张家港市超声电气有限公司 离线
市场背景: 研磨利用涂敷或压嵌在研具上的磨料颗粒,通过研具与工件在一定压力下的相对运动对加工表面进行的精整加工。研磨可用于加工各种金属和非金属材料,加工的表面形状有平面,内、外圆柱面和圆锥面,凸、凹球面,螺纹,齿面及其他型面。加工精度可达IT5~IT1,表面粗糙度可达Ra0.63~0.01微米。抛光是利用机械、化学或电化学的作用,使工件表面粗糙度降低,以获得光亮、平整表面的加工方法。 技术需求: 解决半导体抛光研磨液内颗粒度分布均匀性以及颗粒对管道堵塞影响分析。
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需求详情

技术介绍
需求项目简述
市场背景: 研磨利用涂敷或压嵌在研具上的磨料颗粒,通过研具与工件在一定压力下的相对运动对加工表面进行的精整加工。研磨可用于加工各种金属和非金属材料,加工的表面形状有平面,内、外圆柱面和圆锥面,凸、凹球面,螺纹,齿面及其他型面。加工精度可达IT5~IT1,表面粗糙度可达Ra0.63~0.01微米。抛光是利用机械、化学或电化学的作用,使工件表面粗糙度降低,以获得光亮、平整表面的加工方法。 技术需求: 解决半导体抛光研磨液内颗粒度分布均匀性以及颗粒对管道堵塞影响分析。
企业信息
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负责人信息
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