非分光红外(NDIR)气体传感器作为新一代气体检测技术,通过侦测气体分子的特征红外吸收谱来检测气体,具有寿命长、灵敏度高、稳定性好等优点。但是,NDIR 红外气体传感器的敏感材料和关键技术被国外垄断,核心器件严重依赖进口,急需国产替代。瞄准智慧电力行业对 SF6 和 O3气体检测的重大需求,研发从敏感材料到专用红外芯片、精密窄带红外滤光片的 NDIR 红外气体传感器核心元器件全套自主技术,研制出高性MEMS 红外光源和气体探测器产品。优化选择红外辐射涂层,提升 MEMS 发光芯片红外辐射效率。改进气体探测器的红外滤光片、红外吸收层材料和红外敏感元件的性能,开发出一种红外热探测器,可以同时检测多种不同气体。
MEMS 红外光源:
1. 辐射率: >0.9。
2. 频率响应:>80Hz。
3. 使用寿命:>50000 小时。
4. 芯片最高温度:>800℃。 红外气体探测器:
1. 响应率 Rs:>200 V/W(热电堆);>1000 V/W (热释电)。
2. 探测率 D*:>3×108 Jones(热电堆);>1.5×109 Jones(热释电)。
3. 响应时间: 6,包括 SF6 和 O3气体。