半导体制程用超高纯（UHP）管路系统生产技术

需求所属领域：电子信息、新材料

需求所处阶段：研制阶段

需求缘由：新产品开发

意向合作方式：技术转让、技术开发、技术咨询、技术服务

意向合作院校：

拟投入资金额： 300万元

参加活动：第二届江苏产学研合作对接大会

我要对接关注发送消息

发布人：华生管道科技有限公司离线

发送消息

半导体制程用超高纯（UHP）管路系统生产技术：国内尚无相关技术，目前国际市场全部被欧洲GF（乔治费歇尔公司）和AGRU（艾格鲁公司）两家公司垄断。随着西方国家对中国半导体产业的技术封锁，中国的半导体产业建设用超高纯管路系统组件正面临断供的局面，急需国产替代产品。项目建设内容：1.超高纯（UHP）管路系统生产装备的研发；2.超高纯（UHP）管路系统生产工艺的研发；3.生产超高纯（UHP）管路系统厂房条件、布局等基础设施规划。项目拟投入5000万元，用于生产设备购买及厂房建设。关键技术指标：1.液压试验：95℃，环应力11.5MPa，200hr，无破裂，无渗漏；2.纵向回缩率：150℃，60min，纵向尺寸变化率≦2%；3.离子析出符合SEMI F057表2的要求；4.金属析出符合SEMI F057表3的要求；5.TOC符合SEMI F057表4的要求；6.表面粗糙度符合SEMI F057表5的要求.

30 次浏览分享到

需求详情

技术介绍

需求项目简述
半导体制程用超高纯（UHP）管路系统生产技术：国内尚无相关技术，目前国际市场全部被欧洲GF（乔治费歇尔公司）和AGRU（艾格鲁公司）两家公司垄断。随着西方国家对中国半导体产业的技术封锁，中国的半导体产业建设用超高纯管路系统组件正面临断供的局面，急需国产替代产品。项目建设内容：1.超高纯（UHP）管路系统生产装备的研发；2.超高纯（UHP）管路系统生产工艺的研发；3.生产超高纯（UHP）管路系统厂房条件、布局等基础设施规划。项目拟投入5000万元，用于生产设备购买及厂房建设。关键技术指标：1.液压试验：95℃，环应力11.5MPa，200hr，无破裂，无渗漏；2.纵向回缩率：150℃，60min，纵向尺寸变化率≦2%；3.离子析出符合SEMI F057表2的要求；4.金属析出符合SEMI F057表3的要求；5.TOC符合SEMI F057表4的要求；6.表面粗糙度符合SEMI F057表5的要求.

需求项目简述

企业信息

企业名称	对接成功后可查看	企业类型	对接成功后可查看
所在地区	对接成功后可查看	详细地址	对接成功后可查看

负责人信息

姓名：对接成功后可查看

所在部门：对接成功后可查看

职务：对接成功后可查看

手机：对接成功后可查看

E-mail：对接成功后可查看

电话：对接成功后可查看

传真：对接成功后可查看

联系人信息