目前国内仅有部分高校拥有气溶胶喷涂实验设备,拥有实验设备的高校在半导体刻蚀涂层领域研究很少。通过和高校的合作,结合高校的设备和我们了解到的行业需求对悬浮液涂层进行基础研究。
AD 涂层参数研究——与 APS 喷涂不同,AD 喷涂需要在特定的参数范围内才能在基体上附着稳定的涂层。前期涂层需确定喷涂参数的边际范围,后面再通过实验设计确定最终的参数。
设备技术研究
面向生产的大型设备国外暂未研发和推广销售,同时国外就高科技前沿设备会对中国长期封锁,除了喷涂参数的实验,AD 设备技术储备也应同步展开。设备技术研究主要分为两个步骤:了解设备和改造设备。所谓的了解设备就是设备各部分的工作原理和所要达到的技术参数,设备的技术核心是什么,如何通过逆向工程对设备进行复刻。改造设备是指设备有哪些需要改进的地方(如如何提高喷枪移动速度和沉积效率);与文献报道的设备相比,哪些参数本设备无法设置,是否对涂层质量产生影响,能否进行改进;设备尺寸放大有哪些难点,现有的工业水平能否解决,提出解决方案。
AD 生产设备评估,规划和设计
结合现有的工业水平,以可放大的小型设备为原型,进行大型 AD 设备 DFMEA 设计—确定设备各部分的尺寸和技术参数;设备整体布局空间设计,场地预留空间和承重,设备对水电气及环境的需求;统计设备零部件的购买渠道,购买周期,报价和最终的组装周期。实现悬浮液喷涂生产设备自主设计和生产,涂层性能符合客户需求。