需求项目简述 |
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技术内容及指标:
1、开发Si3N4-AMB商业化生产工艺,掌握用于铜箔与Si3N4焊接的活性金属钎焊料的配方及其制备工艺,突破铜箔与Si3N陶瓷间无缺陷钎焊的技术和工艺瓶颈,实现Si3N4-AMB制造的全过程自主可控,完成车规级Si3N4-AMB基板的大规模商业化生产。
(1)主要性能指标达到或领先国际主要供应商:抗弯强度>700MPa,击穿电压>15kv/mm,杨氏模量310Gpa,蚀刻因子>2,铜箔剥离强度>10N/mm,孔洞率5000个循环,铜表面粗糙度Ra700MPa,断裂韧性≥8MPa·m1/2,击穿电压>15kv/mm,翘曲度15kv/mm,翘曲度<0.2%,填补国内空白;
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