需求项目简述 |
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本项目的目的是通过在P型硅片基础上开发背结TOPCon 高效电池电池效率提升到 24.5%。在现有 PERC 技术路线上,增加高温硼扩、SiO2隧穿层&掺杂多晶层(LPCVD)、湿法刻蚀等设备,并优化其匹配性,完成24.5%电池效率的 TOPCon 工艺方案,开发出可量产工艺包。
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