1.基于微光机电（MOEMS）技术实现的波长扫描光源，通过静电驱动或
压电驱动等方式实现滤波器透射谱中心波长的调节。滤波器调谐频率不低
于1000Hz，FSR 不小于100nm，透射谱半峰宽小于5nm，以上参数需求可后
期联合开发优化。
2.其它光子集成技术，如：宽带激光器、光计算芯片、片上光谱仪、
光电一体化集成、光电混合计算处理等技术。
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技术介绍
| 需求项目简述 |
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1.基于微光机电（MOEMS）技术实现的波长扫描光源，通过静电驱动或
压电驱动等方式实现滤波器透射谱中心波长的调节。滤波器调谐频率不低
于1000Hz，FSR 不小于100nm，透射谱半峰宽小于5nm，以上参数需求可后
期联合开发优化。
2.其它光子集成技术，如：宽带激光器、光计算芯片、片上光谱仪、
光电一体化集成、光电混合计算处理等技术。
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企业信息
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负责人信息
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