需求项目简述 |
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项目目标:根据我单位提出的新型干法刻蚀机G5.5安装用多功能平台的需求,通过全新设计及研发实现我单位设备所需要的全自动控制、温湿管控、平台高可靠性及性能稳定性要求。
项目内容:1、干法刻蚀机G5.5安装用多功能平台设计;2、干法刻蚀机G5.5安装用多功能平台静力学分析;3、干法刻蚀机G5.5安装用多功能平台优化设计;4、干法刻蚀机G5.5安装用多功能平台研发、安装、调试;4、干法刻蚀机G5.5安装用多功能平台性能测试及验收
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